Fourniture d'un système de lithographie par écriture laser directe (DLW)

… nationale ICTS du ministère chargé de la science, dont fait partie l'infrastructure de micro et nanofabrication du Centre de technologie nanofotonique (NTC) de l'Universitat Politècnica de València (UPV), ainsi que le Centre national de microélectronique (CSIC) et le Centre de technologie ISOM (UPM). L'installation sera située dans la salle blanche du bâtiment 8F du NTC-UPV. Le Centre de technologie nanophotonique mène des activités de recherche et de fabrication dans les domaines de la photonique intégrée, de la nanotechnologie, de la biosensorique, de la micro-optique et des systèmes microfluidiques. Les dispositifs couramment fabriqués comprennent les circuits intégrés photoniques (PIC), les biocapteurs photoniques, les nanoantennes, les résonateurs optiques, les cristaux photoniques, les éléments optiques diffractifs, les métaux et les microlentilles, les structures tridimensionnelles obtenues par lithographie à l'échelle grise, les dispositifs MEMS, les systèmes microfluidiques et les encapsulations et composants hybrides photoniques. Ces dispositifs nécessitent la combinaison de procédés de fabrication avec des résolutions nanométriques et micrométriques, des niveaux élevés de précision géométrique, un alignement multicouche et une productivité élevée qui permet de fabriquer des dispositifs complets et des plaquettes dans des délais compatibles avec l'activité de recherche et la fourniture de services technologiques. Par conséquent, il est nécessaire d'acquérir un système de lithographie qui offre simultanément une haute résolution, une vitesse d'écriture élevée, une stabilité mécanique, une précision de positionnement et une polyvalence pour travailler sur une grande variété de matériaux et de tailles de substrat. En tant qu'ICTS intégré au réseau MICRONANOFABS, le NTC-UPV fournit des services de micro et nanofabrication à des groupes de recherche nationaux et internationaux, ainsi qu'à des entreprises, dans le cadre de projets compétitifs, de contrats de transfert de technologie et de fourniture de services avancés. L'équipement fera partie de l'infrastructure scientifique du centre et sera utilisé pour le développement de projets de recherche nationaux et internationaux, des contrats de transfert de technologie avec des entreprises et la fourniture de services de fabrication aux utilisateurs internes et externes. Cette condition d'infrastructure singulière d'utilisation partagée oblige à maintenir une dotation instrumentale actualisée et robuste et des avantages en fonction de l'état de l'art, conformément aux objectifs de la puce PERTE pour le renforcement des capacités nationales de microélectronique et de photonique Le contrat est donc nécessaire pour la réalisation et la réalisation des objectifs institutionnels de l'ICTS MICRONANOFABS-NTC, il n'y a pas de moyens propres adéquats, suffisants et disponibles pour répondre à ce besoin, dans les termes requis par l'article 28 LCSP