Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Was der Auftraggeber sucht
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Auftrag
Art der Leistung
Wer bei diesem Auftraggeber bisher gewonnen hat
| Unternehmen | Zuschläge | Zeitraum |
|---|---|---|
| Bruker BioSpin GmbH & Co. KG | 6 | 2011–2022 |
| Concat AG · Bensheim | 6 | 2019–2023 |
| MEGWARE Computer GmbH · Chemnitz | 5 | 2013–2018 |
| FEI Deutschland GmbH | 5 | 2010–2025 |
| NTT Germany AG & Co. KG | 4 | 2021–2022 |
Wie oft dieser Auftraggeber so etwas ausschreibt
Kontakt Vergabestelle
Taktik
Dieses Verfahren gibt 33 Tage zwischen Veröffentlichung und Frist — üblich in Deutschland sind 33 (Mittel aus 21.305 Verfahren). Ein normales Fenster für diesen Markt.
Die Frist fällt auf einen Montag — Ihr letzter voller Arbeitstag ist der Freitag davor. Nachweise und Bürgschaften bis Donnerstag beisammen haben.
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