Urządzenie do trawiania do głębokich procesów trawienia krzemu dla MEMS
Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Niemcy · Bochum
Czego szuka zamawiający
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Opis w brzmieniu ogłoszenia (DE).
Zamówienie
ZamawiającyRuhr-Universität Bochum
RodzajDostawy
Wartość szacunkowawartość nieopublikowana
Opublikowano12 sierpnia 2026
KategoriaSprzęt laboratoryjny i pomiarowy · CPV 38000000
Kto dotąd tu wygrywał
| Wykonawca | Udzielone zamówienia | Okres |
|---|---|---|
| Bruker BioSpin GmbH & Co. KG | 6 | 2011–2022 |
| Concat AG · Bensheim | 6 | 2019–2023 |
| MEGWARE Computer GmbH · Chemnitz | 5 | 2013–2018 |
| FEI Deutschland GmbH | 5 | 2010–2025 |
| NTT Germany AG & Co. KG | 4 | 2021–2022 |
Z 13,7 mln udokumentowanych udzieleń · stali zwycięzcy znają wymagania tego zamawiającego — to Państwa konkurencja.
Jak często ten zamawiający ogłasza takie zamówienia
20199
202020
202117
202219
20237
202429
202545
202651
Kto zna rytm, przygotowuje się, zamiast reagować.
25
dni do terminu — poniedziałek, 14 września 10:00
Jak złożyć ofertę
Przeczytaj pełne ogłoszenie — Oryginał + dokumenty
Prowadzi bezpośrednio do tego postępowania na Öffentliche Vergabe (Datenservice). Tam znajdą Państwo opis przedmiotu zamówienia i wszystkie załączniki.
Takie przetargi codziennie o 7:30 w Państwa skrzynce.
Zacznij bezpłatnie →