Narzędzie do depozycji 8 cali
Deposition Tool 8 Inch
Niemcy · Garching
Czego szuka zamawiający
The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).
Opis w brzmieniu ogłoszenia (DE).
Zamówienie
ZamawiającyLehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
RodzajDostawy
Wartość szacunkowawartość nieopublikowana
Opublikowano21 sierpnia 2026
KategoriaSprzęt laboratoryjny i pomiarowy · CPV 38000000
Jak często ten zamawiający ogłasza takie zamówienia
202214
20254
20261
Kto zna rytm, przygotowuje się, zamiast reagować.
44
dni do terminu — poniedziałek, 5 października 00:00
Jak złożyć ofertę
Przeczytaj pełne ogłoszenie — Oryginał + dokumenty
Prowadzi bezpośrednio do tego postępowania na TED — Tenders Electronic Daily. Tam znajdą Państwo opis przedmiotu zamówienia i wszystkie załączniki.
Takie przetargi codziennie o 7:30 w Państwa skrzynce.
Zacznij bezpłatnie →