Reaktives Ionenätzen
Was der Auftraggeber sucht
Ein Lehrstuhl sucht eine Reaktivionenätz-Anlage für verschiedene Forschungsprojekte mit unterschiedlichen Anforderungen an Plasma-Kontrolle, Kühlung und Materialprozesse.
- Faraday Cage Etching für freistehende Wellenleiter mit entkoppelter Plasmadichte und Ionenenergie
- Helium-Rückseitenkühlung für nanophotonische Wellenleiter, schonende Oberflächenentfernung (Soft Etch) für Kristallqualität
- Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse (SIL-Strukturierung in Diamant und SiC), Open Load-Design
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in de…
Auftrag
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Taktik
Vergleichbare Vergaben in diesem Land und dieser Branche hatten im Median 2 Bieter (aus 2.419 Vergaben) — sehr überschaubares Feld: ein solides Angebot hat hier echte Chancen.
Dieses Verfahren gibt 16 Tage zwischen Veröffentlichung und Frist — üblich in Deutschland sind 33 (Mittel aus 19.940 Verfahren). Deutlich knapper als üblich: hier zählt die erste Woche.
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