ALD-Anlage
Niemcy · Jena
Czego szuka zamawiający
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Zamówienie
Kto dotąd tu wygrywał
| Wykonawca | Udzielone zamówienia | Okres |
|---|---|---|
| DELTA Computer Products GmbH | 6 | 2024 |
| primeLine Solutions GmbH | 6 | 2024 |
| Anfatec Instruments AG · Oelsnitz/Vogtl. | 5 | 2019–2026 |
| Active Fiber Systems GmbH · Jena | 4 | 2015–2026 |
| TOPAG Lasertechnik GmbH · Darmstadt | 4 | 2024–2025 |
Jak często ten zamawiający ogłasza takie zamówienia
Kto zna rytm, przygotowuje się, zamiast reagować.