Reaktywne trawienie jonowe
Reaktives Ionenätzen
Niemcy · Erlangen
Czego szuka zamawiający
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den…
Zamówienie
Kto dotąd tu wygrywał
| Wykonawca | Udzielone zamówienia | Okres |
|---|---|---|
| HORIBA Jobin Yvon GmbH | 4 | 2025 |
| Nikon Europe B.V. Zweigniederlassung Deutschland · Düsseldorf | 2 | 2025 |
| Apleona Südost GmbH | 2 | 2025 |
| Qinu GmbH | 2 | 2025 |
| ITM Management & Consulting GmbH · Dresden | 2 | 2025 |
Jak często ten zamawiający ogłasza takie zamówienia
Kto zna rytm, przygotowuje się, zamiast reagować.