ALD-Plant
ALD-Anlage
Germany · Jena
What the buyer is looking for
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Contract
Who has won here before
| Company | Awards | Period |
|---|---|---|
| DELTA Computer Products GmbH | 6 | 2024 |
| primeLine Solutions GmbH | 6 | 2024 |
| Anfatec Instruments AG · Oelsnitz/Vogtl. | 5 | 2019–2026 |
| Active Fiber Systems GmbH · Jena | 4 | 2015–2026 |
| TOPAG Lasertechnik GmbH · Darmstadt | 4 | 2024–2025 |
How often this buyer tenders this
Who knows the rhythm prepares instead of reacting.